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遷移率少子壽命測(cè)試儀

我司主營(yíng):晶圓電阻率測(cè)試儀,硅片電阻率測(cè)試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率(霍爾)測(cè)試儀,遷移率少子壽命測(cè)試儀。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-01-16
  • 訪  問(wèn)  量:438
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遷移率少子壽命測(cè)試儀特點(diǎn):

測(cè)試范圍廣:包括硅塊、硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅片等的少子壽命及鍺單晶的少子壽命測(cè)量。

■主要應(yīng)用于硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅塊、硅片的進(jìn)廠、出廠檢查,生產(chǎn)工藝過(guò)程中重金屬沾污和缺陷的監(jiān)控等。

■適用于低阻硅料少子壽命的測(cè)量,電阻率測(cè)量范圍可達(dá)ρ>0.1Ω?cm(可擴(kuò)展至0.01Ω?cm),完了微波光電導(dǎo)無(wú)法檢測(cè)低阻單晶硅的問(wèn)題。

■全程監(jiān)控動(dòng)態(tài)測(cè)試過(guò)程,避免了微波光電導(dǎo)(u-PCD)無(wú)法觀測(cè)晶體硅陷阱效應(yīng),表面復(fù)合效應(yīng)缺陷的問(wèn)題。

■貫穿深度大,達(dá)500微米,相比微波光電導(dǎo)的30微米的貫穿深度,真正體現(xiàn)了少子的體壽命的測(cè)量,避免了表面復(fù)合效應(yīng)的干擾。

■專業(yè)定制樣品架地滿足了原生多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)測(cè)試多種形狀的硅材料少子壽命的要求,包括硅芯、檢磷棒、檢硼棒等。

遷移率少子壽命測(cè)試儀性價(jià)比高,價(jià)格遠(yuǎn)低于國(guó)外國(guó)外少子壽命測(cè)試儀產(chǎn)品,極大程度地降低了企業(yè)的測(cè)試成本。

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